全封閉顯影機(jī)

簡(jiǎn)要描述：全封閉顯影機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝，性價(jià)比高，穩(wěn)定性好，重復(fù)性好，對(duì)顯影作業(yè)有非常理想的效果。設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。

產(chǎn)品型號(hào)：DM200-SE
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-02-11
訪問(wèn) 量：2918

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品介紹：

　　全封閉顯影機(jī)優(yōu)勢(shì)

　　·全封閉式顯影，避免霧氣擴(kuò)散到外部，污染環(huán)境。

　　·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。

　　·內(nèi)腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。

　　·內(nèi)置真空過(guò)濾器，防止液體吸入真空泵。

　　·真空壓力可調(diào)，壓力值實(shí)時(shí)顯示。

　　·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。

全封閉顯影機(jī)參數(shù)

　　支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圓晶)

　　·轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM

　　·旋涂速度：20-3000rpm(空載)

　　·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空載)

　　·工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度： 0.1sec

　　·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液，1路純水，1路氮?dú)?

　　·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序

　　·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。

　　設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：GK25電鏡制樣玻璃制刀機(jī)
下一篇：AC200-CTM半自動(dòng)勻膠機(jī)

巨大黑人极品videos精品,国产成人无码一二三区视频,欧美老妇交乱视频,日本特黄特色aaa大片免费

全封閉顯影機(jī)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：